1 PDMS材料

PDMS，全称为聚二jia基硅氧烷，硅流道，一种常见的微流控芯片原型制造的有机高分子聚合物。本身具有弹性、透明、透气、化学惰性。适合细胞培养、yao物筛选、细胞捕获等相关的芯片制造，材料本身是疏水特性，可以通过化学或物理的方式进行表面改性。

PDMS材料优点：

? 光学透明度： PDMS 卓yue的光学透明度有利于成像和显微术。例如，它允许对微流控细胞培养室进行实时成像和监测。

? 低成本且易于制造： PDMS 微流控芯片的制造方法非常标准且直接，如下所述。此外，与热塑性塑料相反，PDMS 可以很容易地粘合以密封并形成封闭的通道。

? 高分辨率和精细特性： PDMS 芯片通常是通过将液体预混物浇注在母模上制成的。这种铸造工艺甚至可以在宽高比范围内的 PDMS 上印上zui精细的特征（低至几微米）。

基因微阵列芯片概述

基因微阵列芯片（Gene microarray chip）是一种高通量基因分析平台，广泛应用于基因表达、基因变异、基因检测和基因组学研究等领域。它是一种以基因序列片段为探针的固相芯片，可同时检测数千到数百万个基因或基因表达产物。

基因微阵列芯片的工作原理基于互补配对的碱基识别原理。芯片表面固定了大量的DNA片段或cDNA片段，这些片段通常是已知的基因序列或表示不同基因的探针序列。待检样品中的RNA或cDNA经过标记后，与芯片上的探针序列进行杂交，形成互补配对。通过检测杂交后标记的信号强度，可以推断出待检样品中各个基因的相对表达水平。

基因微阵列芯片的设计通常基于两种不同的平台：全基因组芯片和定制芯片。全基因组芯片包含了整个基因组的探针，可用于对所有基因进行quan面的分析。定制芯片则是根据研究需求，选择特定的基因或基因组区域设计相应的探针，用于特定的研究目的。

1.4 玻璃和聚合物材料对比

2 加工方式2.1 湿法腐蚀流道深度20um以上加工xiao率高，深宽比2:1以上。

玻璃芯片微细加工技术的基本过程包括涂胶、曝光、显影、腐蚀、去胶等步骤，根据流道条件可以选择湿法腐蚀和干法刻蚀，湿法腐蚀具有各向同性，干法刻蚀具有各向异性，目前，微流道玻璃芯片zui长用的是玻璃的湿法腐蚀。

玻璃湿法腐蚀流程：

2.2 激光加工

皮秒激光加工，流道线宽200um以上，精度要求低。

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