技术参数

曝光光源：紫外LED

光源波长：365nm;

曝光面积：4英寸、6英寸可选；

曝光方式：单面接触式定时曝光；

曝光分辨率：2um；

曝光强度：20~200mW/cm2可调；

曝光不均匀性：≤5%；

光源平行性：≤2°；

光源寿命：≥20000h；

电源输入：AC220V±10V，SU8光刻机，50HZ

功率：250W

重量：25kg

外形尺寸：382（长）*371（宽）*435（高）

工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %

注射泵是一种基于步进电机作为驱动源，用于控制jing确液体流量和流速的装置。它通常由步进电机、泵头和控制器组成。步进电机提供了jing确的转速和位置控制，泵头用于推动液体流入管路，控制器则控制电机旋转的角度和速度。

注射泵具有以下特点：

1.高精度控制：步进电机可以非常精que地控制旋转角度和速度，从而实现高精度的流量和流速控制。

2.可编程控制：控制器可以通过编程方式设置电机旋转的脉冲数和频率，从而实现不同的流量和流速控制模式。

3.安quan可靠：步进电机驱动的注射泵通常具有多种安全保护措施，如过载保护、限位保护等，确保设备的安quan可靠运行。

4.易于操作：步进电机驱动的注射泵通常具有友好的用户界面和操作系统，操作简单、方便。

5.应用范围广：步进电机驱动的注射泵适用于各种需要精que流量和流速控制的实验、生产和检测场合，如微流控技术、生物技术、化学实验等。

需要注意的是，步进电机驱动的注射泵相比于传统注射泵，价格较高，但是在需要高精度流量控制的应用场合中，其精度和可编程性优势显著，得到了广泛的应用和认可。

顶旭桌面微型光刻机，专为微米级图案制作而设计，旨在保障zhuo越的图形转移精度。设备采用紫外LED冷光源，结合双非球面石英透镜，可生成半角＜2°的平行光，相较传统接触式曝光机，其ji致紧凑的体积将移形换影置于桌面之上，为操作提供了便利与jing准。

该光刻机广泛适用于微流控芯片、MEMS器件、光电子器件以及声表面波器件等制备领域。其性能尤其适合高校、科研院所以及企业展开微细加工工艺研究。紧随现代技术的步伐，顶旭桌面微型光刻机的问世为微纳加工注入了新的活力，助力客户在项目目标的实现过程中迈向更高精度、更具创新性的阶段。

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