1.4 玻璃和聚合物材料对比

2 加工方式2.1 湿法腐蚀流道深度20um以上加工xiao率高，深宽比2:1以上。

玻璃芯片微细加工技术的基本过程包括涂胶、曝光、显影、腐蚀、去胶等步骤，根据流道条件可以选择湿法腐蚀和干法刻蚀，湿法腐蚀具有各向同性，干法刻蚀具有各向异性，玻璃微流控芯片，目前，微流道玻璃芯片zui长用的是玻璃的湿法腐蚀。

玻璃湿法腐蚀流程：

2.2 激光加工

皮秒激光加工，流道线宽200um以上，精度要求低。

基因微阵列芯片的制备方法

探针设计：首先确定研究的基因或基因组区域，然后设计相应的探针序列。探针可以是DNA片段、cDNA片段或寡核苷酸，长度通常为20到70个碱基。

探针合成：将设计好的探针序列进行合成。合成可以通过化学合成方法或基于光掩膜技术的光刻方法进行。

探针标记：为了在芯片上进行检测，探针需要进行标记。标记可以使用荧光染料、fang射性同位素、生物素等不同的方法。标记的选择取决于实验需求和检测平台。

芯片制备：将探针固定在芯片表面上。通常使用玻璃片或硅片作为芯片基底，表面经过特殊处理以提高探针的固定效果。探针可以通过打印、合成或接头的方式固定在芯片上。

打印方法：探针溶液被喷洒、喷射或压印在芯片表面的预定位置上。打印方法可以是喷墨式打印、喷气式打印或机械式打印。

合成方法：探针在芯片表面上进行化学合成，通常采用光刻或微流控技术。光刻方法通过光照和化学反应逐步合成探针。微流控技术通过微型反应池和微流体控制实现探针的合成。

接头方法：探针通过接头分子固定在芯片上。接头分子可以是寡核苷酸、分子链或分子修饰基团。

芯片验证和质控：制备完成的芯片需要进行验证和质控，以确保探针的质量和可靠性。常见的验证方法包括探针序列分析、杂交效率测试和标记信号强度检测。

制备基因微阵列芯片需要专门的设备和技术，常见的芯片制备平台包括Affymetrix、Agilent、Illumina等。此外，制备过程中需要注意探针的选择、标记的稳定性、芯片表面的均匀性和芯片存储条件等因素，以确保芯片的准确性和重复性。

1 热塑性材料

1.1 聚jia基丙xi酸甲酯(PMMA)

PMMA芯片材质PMMA是一种廉价的易于制造的聚合物，它是普通塑料材料中zui不疏水的聚合物，并且易于改性。由于其di价格，刚性机械性能，优异的光学透明性和与电泳的兼容性，它对于一次性微流控塑料芯片特别有用。它也是制备可重复使用的微流控塑料芯片的理想材料。

优点：价格低廉，普通塑料材料中疏水性zui小的聚合物，刚性机械性能，优异的光学透明性，与电泳的兼容性，易于制造和改性，可重复使用。

缺点：需要昂贵的设备来实现这种聚合物的复杂芯片（注塑，热压印）。

常见应用：生态微芯片（可重复使用），混合分析芯片，DNA测序仪，电泳芯片。

成型方法：二氧化碳-激光微加工，注塑，热压印，压缩成型和挤压成型。

粘接方法：热压粘接（zui常见），微波粘接，热熔粘接和胶粘接，通过等离子体处理提高粘接强度，使用特定的溶剂条件和牺牲材料（如：石蜡）可以防止通道塌陷。

玻璃化转变温度：85-165℃（不同等级）。

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